Domdruckregler mit elektronischer Regelung

Eine hochpräzise Vakuumregelung ist in verschiedenen Branchen unverzichtbar, darunter in der Halbleiterherstellung, der Pharmaindustrie und der wissenschaftlichen Forschung, wo die Einhaltung exakter Druckniveaus für die Prozessstabilität und Produktqualität von entscheidender Bedeutung ist. Eine der fortschrittlicheren Lösungen zur Erzielung einer hochpräzisen Vakuumregelung ist die Verwendung von Domreglern. Diese können mit elektronischen Regelsystemen automatisiert werden.

Domgeladene Regler

Ein dombelasteter Regler oder dombelastetes Regelventil ist ein Gerät, das einen Domdruck verwendet, um den Eingangsdruck einzustellen. Der Domdruck wird normalerweise von einer Referenzdruckquelle geliefert und auf eine flexible Membran ausgeübt, die wiederum das Ventil einstellt, um den gewünschten Eingangsdruck aufrechtzuerhalten. Dieses einzigartige – und, ehrlich gesagt, elegante – Design ermöglicht präzise Kontrolle und Stabilität, da der Domdruck präzise eingestellt werden kann, um den genau erforderlichen Eingangsdruck zu erreichen.

Zu den Hauptmerkmalen von Domdruckreglern gehören:

• Hohe Genauigkeit und Stabilität:
  Das Membran- und Ventildesign stellt sicher, dass Änderungen des Durchflussbedarfs den geregelten Eingangsdruck nicht wesentlich beeinflussen und so ein konstantes Vakuumniveau aufrechterhalten wird.
• Große Kontrollmöglichkeiten:
  Domdruckregler können mit einem weiten Bereich an Eingangs- und Ausgangsdrücken umgehen und sind daher vielseitig für unterschiedliche Anwendungen einsetzbar.
• Haltbarkeit: Diese Regler bestehen normalerweise aus robusten Materialien, die rauen Betriebsbedingungen und längerem Gebrauch standhalten.

Mehr über das einzigartige Design der Equilibar-Regler können Sie hier lesen: Equilibar Vordruckregler erklärt.

Elektronische Regelung

Durch die Integration von Domdruckreglern in elektronische Regelsysteme wird deren Präzision und Reaktionsfähigkeit weiter verbessert. Ein Regelsystem überwacht kontinuierlich den Vakuumdruck und passt den Domdruck in Echtzeit an, um den Sollwert beizubehalten.

Ein solches System wird oft individuell nach Kundenanforderungen gefertigt, umfasst aber typischerweise einen Sensor, einen Controller und einen Aktuator:

• Sensor:
  Zur genauen Messung des Vakuumdrucks werden hochpräzise Sensoren eingesetzt. Diese Sensoren liefern dem Controller Echtzeitdaten.
• Regler:
  Der Regler verarbeitet die Sensordaten und vergleicht sie mit dem gewünschten Sollwert. Bei Abweichungen berechnet der Regler die notwendigen Anpassungen.
• Aktuator: Der Aktuator empfängt Signale vom Controller, um den Domdruck entsprechend anzupassen. Diese Anpassung stellt sicher, dass der Vakuumdruck innerhalb der angegebenen Toleranz bleibt.

Leistungsvorteile

Die Kombination von Domreglern mit elektronischer Regelung bietet mehrere Leistungsvorteile:

1. Verbesserte Präzision: Das elektronische Steuerungssystem kann schnelle Anpassungen vornehmen, oft innerhalb von Millisekunden, und stellt sicher, dass der Vakuumdruck genau auf dem gewünschten Niveau bleibt.
2. Verbesserte Stabilität: Das geschlossene Kreislaufsystem gleicht Störungen oder Bedarfsänderungen aus und sorgt für eine stabile und zuverlässige Vakuumumgebung.
3. Automatisierung und Flexibilität: Das System kann so programmiert werden, dass es den Druck für verschiedene Prozesse automatisch anpasst. Dies bietet mehr Flexibilität und reduziert den Bedarf an manuellen Eingriffen.
4. Datenprotokollierung und -überwachung: Fortschrittliche Steuerungssysteme können Leistungsdaten protokollieren und so eine detaillierte Überwachung und Analyse ermöglichen. Diese Funktion ist für die Prozessoptimierung und Fehlerbehebung wertvoll.

Anwendungen

Eine hochpräzise Vakuumregelung mit Domreglern und elektronischer Regelung ist für viele Anwendungen von entscheidender Bedeutung. Beispiele:

• Halbleiterherstellung: Präzise Vakuumniveaus sind für Prozesse wie die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und die Fotolithografie von entscheidender Bedeutung.
• Pharmazeutische Produktion: Für Prozesse wie Gefriertrocknung und Vakuumdestillation ist ein konstanter Vakuumdruck erforderlich.
• Wissenschaftliche Forschung: Viele Experimente und Forschungsaktivitäten erfordern exakte Vakuumbedingungen, um genaue Ergebnisse zu gewährleisten.

Möchten Sie mehr wissen?

Die hochpräzise Vakuumregelung ist eine kritische Komponente in vielen modernen industriellen und wissenschaftlichen Anwendungen. PCS kombiniert häufig Domregler von Equilibar mit maßgeschneiderten elektronischen Regelsystemen und bietet Prozessingenieuren somit eine optimale Lösung zur Aufrechterhaltung präziser und stabiler Vakuumdrücke in den anspruchsvollsten Prozessanwendungen, die eine strenge Vakuumkontrolle erfordern.

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